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Lecture notes on principles of plasma processing

Francis F. Chen and Jane P. Chang. -- Kluwer Academic/Plenum Publishers, 2002. <TY00312259>
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Lecture notes on principles of plasma processing

Francis F. Chen and Jane P. Chang. -- Kluwer Academic/Plenum Publishers, 2002. <TY00312259>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻冊次等 配置場所・配架マップ 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 備考 予約件数
0001 2F一般図書 461414 427.6/C38 0件
0002 もの-植杉克弘 687895 427.6/C38 帯出可 研究室貸出 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ 2F一般図書
資料ID 461414
請求記号 427.6/C38
禁帯出区分
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件
No. 0002
巻冊次等
配置場所・配架マップ もの-植杉克弘
資料ID 687895
請求記号 427.6/C38
禁帯出区分 帯出可
状態 研究室貸出
返却期限日
備考
予約件数 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Lecture notes on principles of plasma processing / Francis F. Chen and Jane P. Chang
出版・頒布事項 New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers , c2003
形態事項 ix, 208 p : ill. ; 28 cm + 1 CD-ROM
巻号情報
ISBN 0306474972
学情ID BA61392702
本文言語コード 英語
著者標目リンク Chen, Francis F., 1929- <AU00305453>
著者標目リンク Chang, Jane P., 1970- <>
分類標目 DC21:621.044
件名標目等 Plasma engineering
件名標目等 Plasma chemistry
件名標目等 Plasma dynamics
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