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製造プロセス編
角南英夫著. -- コロナ社, 2006. -- (電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学). <TW00359512>
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製造プロセス編
角南英夫著. -- コロナ社, 2006. -- (電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学). <TW00359512>
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巻冊次等
配置場所・配架マップ
資料ID
請求記号
禁帯出区分
状態
返却期限日
備考
予約件数
0001
2F一般図書
468065
549.7/Su73
帯出可
0件
No.
0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ
2F一般図書
資料ID
468065
請求記号
549.7/Su73
禁帯出区分
帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数
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書誌詳細
標題および責任表示
製造プロセス編 / 角南英夫著
セイゾウ プロセスヘン
出版・頒布事項
東京 : コロナ社 , 2006.8
形態事項
xii, 189p ; 26cm
巻号情報
ISBN
4339018872
書誌構造リンク
電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編||デンシ ジョウホウ ツウシン レクチャー シリーズ <TW00300071> D-27 . VLSI工学||VLSI コウガク//ab
その他の標題
奥付タイトル:VLSI technology : fabrication processes
注記
引用・参考文献: p[177]-186
学情ID
BA81206403
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
電子情報通信学会||デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ <AU00300118>
著者標目リンク
角南, 英夫||スナミ, ヒデオ <AU00366168>
分類標目
電子工学 NDC9:549.7
件名標目等
集積回路||シュウセキカイロ
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