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製造プロセス編

角南英夫著. -- コロナ社, 2006. -- (電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学). <TW00359512>
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No. 巻冊次等 配置場所・配架マップ 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 備考 予約件数
0001 2F一般図書 468065 549.7/Su73 帯出可 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ 2F一般図書
資料ID 468065
請求記号 549.7/Su73
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件

書誌詳細

標題および責任表示 製造プロセス編 / 角南英夫著
セイゾウ プロセスヘン
出版・頒布事項 東京 : コロナ社 , 2006.8
形態事項 xii, 189p ; 26cm
巻号情報
ISBN 4339018872
書誌構造リンク 電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編||デンシ ジョウホウ ツウシン レクチャー シリーズ <TW00300071> D-27 . VLSI工学||VLSI コウガク//ab
その他の標題 奥付タイトル:VLSI technology : fabrication processes
注記 引用・参考文献: p[177]-186
学情ID BA81206403
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電子情報通信学会||デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ <AU00300118>
著者標目リンク 角南, 英夫||スナミ, ヒデオ <AU00366168>
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ