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プラズマ/プロセスの原理

Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳. -- 第2版. -- 丸善, 2010. <TW00337726>
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プラズマ/プロセスの原理

Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳. -- 第2版. -- 丸善, 2010. <TW00337726>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻冊次等 配置場所・配架マップ 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 備考 予約件数
0001 2F一般図書 461259 427.6/L62 0件
0002 もの-植杉克弘 446329 427.6/L62 帯出可 研究室貸出 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ 2F一般図書
資料ID 461259
請求記号 427.6/L62
禁帯出区分
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件
No. 0002
巻冊次等
配置場所・配架マップ もの-植杉克弘
資料ID 446329
請求記号 427.6/L62
禁帯出区分 帯出可
状態 研究室貸出
返却期限日
備考
予約件数 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
版事項 第2版
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 2010.1
形態事項 xxix, 612p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN 9784621082232
その他の標題 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing
その他の標題 異なりアクセスタイトル:プラズマプロセスの原理
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
注記 監修: 堀勝
注記 参考文献: p[591]-604
学情ID BB00985264
本文言語コード 日本語
著者標目リンク Lieberman, M. A. (Michael A.) <AU00323234>
著者標目リンク Lichtenberg, Allan J <AU00323233>
著者標目リンク 佐藤, 久明
サトウ, ヒサアキ <>
著者標目リンク 堀, 勝(1958-)||ホリ, マサル <AU00372276>
分類標目 電磁気学 NDC8:427.6
分類標目 電磁気学 NDC9:427.6
件名標目等 プラズマ物理学||プラズマブツリガク
件名標目等 薄膜||ハクマク
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