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超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術

大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編. -- 大阪大学出版会, 2014. <TW00351923>
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No. 巻冊次等 配置場所・配架マップ 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 備考 予約件数
0001 2F一般図書 456474 428.4/O73 帯出可 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ 2F一般図書
資料ID 456474
請求記号 428.4/O73
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件

書誌詳細

標題および責任表示 超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術 / 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編
チョウセイミツ カコウ ト ヒョウメン カガク : ゲンシ レベル ノ セイサン ギジュツ
出版・頒布事項 吹田 : 大阪大学出版会 , 2014.3
形態事項 v, 379p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784872594652
注記 参考文献あり
学情ID BB15130805
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点 <>
著者標目リンク 精密工学会超精密加工専門委員会 <>