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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <TW00000044>
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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <TW00000044>
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所蔵一覧 1件～3件（全3件）

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No. 巻冊次等 配置場所・配架マップ 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 備考 予約件数
0001 2F一般図書 056596 549.8/Ki41 帯出可 0件
0002 1F電動書庫(64-86：和図書) 368248 549.8/Ki41 帯出可 0件
0003 2F一般図書 392726 549.8/Ki41 帯出可 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ 2F一般図書
資料ID 056596
請求記号 549.8/Ki41
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件
No. 0002
巻冊次等
配置場所・配架マップ 1F電動書庫(64-86：和図書)
資料ID 368248
請求記号 549.8/Ki41
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件
No. 0003
巻冊次等
配置場所・配架マップ 2F一般図書
資料ID 392726
請求記号 549.8/Ki41
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著
スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 東京大学出版会 , 1984.3
形態事項 ix, 231p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4130610473
注記 各章末: 参考文献
注記 一般的参考書: p226
学情ID BN00164488
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 金原, 粲(1933-)||キンバラ, アキラ <AU00312737>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
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