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超LSI回路とプロセス

西澤潤一編. -- 工業調査会, 1986. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 24巻 . 超LSI技術 ; 10). <TW00060871>
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No. 巻冊次等 配置場所・配架マップ 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 備考 予約件数
0001 1F電動書庫(64-86:和図書) 079933 549.7/H29/v.24 帯出可 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ 1F電動書庫(64-86:和図書)
資料ID 079933
請求記号 549.7/H29/v.24
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件

書誌詳細

標題および責任表示 超LSI回路とプロセス / 西澤潤一編
チョウ LSI カイロ ト プロセス
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1986.8
形態事項 8, 324p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 4769310544
書誌構造リンク 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <TW00117384> 24巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 10//bb
注記 執筆: 秋谷秀夫ほか
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN00551043
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 西澤, 潤一(1926-2018)||ニシザワ, ジュンイチ <AU00303305>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ