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半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著. -- 産業図書, 1980. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <TW00052513>
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半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著. -- 産業図書, 1980. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <TW00052513>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻冊次等 配置場所・配架マップ 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 備考 予約件数
0001 2F一般図書 079282 549.7/Su25 帯出可 0件
0002 もの-佐藤孝紀 381347 549 帯出可 研究室貸出 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ 2F一般図書
資料ID 079282
請求記号 549.7/Su25
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件
No. 0002
巻冊次等
配置場所・配架マップ もの-佐藤孝紀
資料ID 381347
請求記号 549
禁帯出区分 帯出可
状態 研究室貸出
返却期限日
備考
予約件数 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体プラズマプロセス技術 / 菅野卓雄編著
ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1980.7
形態事項 6, 373p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4782856210
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <TW00123001>//a
注記 各章末:参考文献
学情ID BN0059785X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 菅野, 卓雄(1931-)||スガノ, タクオ <AU00300554>
分類標目 NDC6:549.7
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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