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超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <TW00029279>
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超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <TW00029279>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻冊次等 配置場所・配架マップ 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 備考 予約件数
0001 1F電動書庫(64-86：和図書) 056160 431.7/D59 帯出可 0件
0002 2F一般図書 111197 431.7/D59 帯出可 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ 1F電動書庫(64-86：和図書)
資料ID 056160
請求記号 431.7/D59
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件
No. 0002
巻冊次等
配置場所・配架マップ 2F一般図書
資料ID 111197
請求記号 431.7/D59
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超LSI時代のプラズマ化学 / 「電子材料」編集部編
チョウ LSI ジダイ ノ プラズマ カガク
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1983.9
形態事項 6, 213p : 挿図 ; 22cm
巻号情報
ISBN 4769310315
注記 参考文献: 各章末
学情ID BN00621353
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電子材料編集部||デンシ ザイリョウ ヘンシュウブ <AU00321633>
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.7
分類標目 科学技術 NDLC:PA181
分類標目 科学技術 NDLC:MC241
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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