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微細加工

半導体研究振興会編. -- 工業調査会, 1977. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 14 . 超LSI技術 ; 1). <TW00312010>
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微細加工

半導体研究振興会編. -- 工業調査会, 1977. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 14 . 超LSI技術 ; 1). <TW00312010>
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No. 巻冊次等 配置場所・配架マップ 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 備考 予約件数
0001 1F電動書庫(64-86：和図書) 145716 549.7/H29/v.14 帯出可 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ 1F電動書庫(64-86：和図書)
資料ID 145716
請求記号 549.7/H29/v.14
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工 / 半導体研究振興会編
ビサイ カコウ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1977.12
形態事項 9, 376p ; 27cm
書誌構造リンク 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <TW00117384> 14 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 1//b
学情ID BN00697901
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 半導体研究振興会||ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ <AU00305287>
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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