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SOI構造形成技術

古川静二郎編著. -- 産業図書, 1987. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <TW00104240>
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No. 巻冊次等 配置場所・配架マップ 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 備考 予約件数
0001 2F一般図書 405972 549.7/F93 帯出可 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ 2F一般図書
資料ID 405972
請求記号 549.7/F93
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件

書誌詳細

標題および責任表示 SOI構造形成技術 / 古川静二郎編著
SOI コウゾウ ケイセイ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1987.10
形態事項 281p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4782856253
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <TW00123001>//a
学情ID BN01517109
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 古川, 静二郎(1934-)||フルカワ, セイジロウ <AU00300555>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 シリコン(半導体)||シリコン(ハンドウタイ)