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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安 [ほか] 著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <TW00000385>
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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安 [ほか] 著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <TW00000385>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻冊次等 配置場所・配架マップ 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 備考 予約件数
0001 1F電動書庫(64-86：和図書) 368156 549.7/N39 帯出可 0件
0002 2F一般図書 369914 549.7/N39 帯出可 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所・配架マップ 1F電動書庫(64-86：和図書)
資料ID 368156
請求記号 549.7/N39
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件
No. 0002
巻冊次等
配置場所・配架マップ 2F一般図書
資料ID 369914
請求記号 549.7/N39
禁帯出区分 帯出可
状態
返却期限日
備考
予約件数 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工 : サブミクロン素子への展開 / 中野朝安 [ほか] 著
ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ
出版・頒布事項 東京 : 東京電機大学出版局 , 1989.3
形態事項 vi, 240p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4501313307
学情ID BN03301767
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 中野, 朝安(1923-)||ナカノ, トモヤス <AU00306373>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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